電子画像研究室

実験設備


  • グローブボックス
    本学、佐々木教授より頂きもの

  • ガス循環精製装置
    ピュアークリエイト

  • UVオゾン洗浄機
    レーザーテクノUV-253

成膜装置


  • パリレンコーター ラボコータPDS-2010
    日本パリレン(代理店:スリーボンド)

  • 真空蒸着器一号

  • 真空蒸着器二号

  • 3ターゲットRFマグネトロンスパッタ
    日電アネルバSPF-332H

  • RFマグネトロンスパッタ
    日電アネルバSPF-210

  • スピンコーター
    MIKASA 1H-DXU

  • 原子吸光式レートモニター(Cs決打ちバージョン)米LUXTRON(国内販売代理:アールデック)

  • LB製膜装置(協和界面科学)

測定装置


  • 有機EL発光効率測定装置(電源、keithleyバージョン)
    プレサイスゲージEL1003

  • マルチチャンネル検出器
    浜松ホトニクス咳MA-11

  • 蛍光・りん光分光光度計
    堀場製作所 SPEX FluoroMax-P

  • 有機EL輝度評価システム
    EHC

  • 大気下光電子分光装置
    理研計器AC-1(1号機)

  • フェルミ準位測定装置
    理研計器FAC-1

  • 大気下光電子分光装置
    理研計器AC-1(2号機)
    [正規保守打ち切のためバックアップ用]

  • 触針段差計
    Dektak3ST

  • Riken_keiki_FAC-1(Left)
    and McAllister Kelvin Probe [in Air !] (Right_back side)

  • McAllister Kelvin Probe KP6500

  • McAllister Kelvin Probe

  • McAllister Kelvin Probe [in Air !]